氦氣是較輕的惰性氣體，在噴出時會自動上升，為了準(zhǔn)確找到漏孔位置噴氦，使用此方法時噴氦自上而下，由近至遠(yuǎn)（相對檢漏儀的位置），這是因為在下方時有可能被上方漏孔吸入；氦質(zhì)譜檢漏方法 以其高靈敏度和準(zhǔn)確性而通常應(yīng)用于整體防漏等級較高的壓力容器上。 氦檢方法基本上可分為用氦氣內(nèi)部加壓法和 設(shè)備內(nèi)部抽真空外部施氦這兩種。對于分裝或總裝，采用吸入法。被檢工件沖入氦-氮混合氣體，利用被檢工件裝配面或疑是漏點進(jìn)行找漏。檢漏儀顯示數(shù)值超過規(guī)定值即為有漏。
真空檢漏 向各個加熱電極、爐體水套等通水腔體內(nèi)噴吹氦氣檢查泄漏情況。若檢漏多遍后升壓率仍不合格，可以用塑料布、膠帶對的焊口、法蘭連接處、熱電偶、電極等處進(jìn)行包裹罩封,然后向罩中噴入氮氣，觀察檢漏儀的漏率變化,如果緩慢上升,說明被包裹的位置存在漏點。 極限壓力不合格，升壓率合格 這種情況原因通常出現(xiàn)在粗抽閥到機(jī)械泵部分的各個連接管路的焊口及法蘭連接或真空泵本身性能。
氦質(zhì)譜檢漏儀用于對容器或器件的密封性進(jìn)行檢測，對被檢件泄漏點進(jìn)行定性、定量和定位的檢測。儀器利用內(nèi)置的真空系統(tǒng)，將被檢氣體抽入到儀器內(nèi)部，然后將該混合氣體離化，并將離子加速送入磁場當(dāng)中，利用帶電離子在磁場中的偏轉(zhuǎn)效應(yīng)，使氦離子與其它離子分離，通過對此氦離子信號的接收、放大和顯示，從而反映出被測器件的密封性。
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